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管式擴散氧化退火爐

設備名稱 Equipment name

管式擴散氧化退火爐  Horizontal Diffusion/Oxidation/Annealing Equipment

設備型號 Equipment Model

DOA-320L/ DOA-420

設備用途 Equipment Application

主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的摻雜形成PN結。
The equipment is mainly used for doping and form PN junctions on silicon wafers in the manufacturing process of crystalline silicon solar cells.

工藝流程 Process Flow

石英舟及硅片準備→插片→上料→選擇工藝運行→進舟→抽真空→升溫穩定→通氧→通源→推進→恒溫→出舟→下舟冷卻→測試→卸片    
Prepare quartz boat & wafers→ Insert wafers→ Loading wafers→ Choose recipe → Boat loading→ tube Vacuuming→ Temperature rising→ Oxygen inlet→Pocl3 inlet→ Push in→ DOA treatment→ Boat unloading→ Cooling→ Testing→ Wafer unloading

技術特點  Features 

1、低壓擴散、氧化、退火功能。
Low pressure diffusion, oxidation and annealing.

2、高方阻技術解決方案。
High sheet resistance technology solution.

3、配套相關專利技術,可適用于硼擴散工藝。
Patented technology, available for Boron diffusion.

4、獨特雙嵌套爐門結構。
Unique double-layer-embedment furnace door structure.

5、專利技術尾氣處理系統。
Patented technology for exhaust gas treatment system.

6、高速平穩整體模組推舟機構。
High-speed integral module boat pushing mechanism.

7、高精度源壓穩定技術。
High precision air source pressure stabilization technology.

8、智能化全自動控制。
Intelligent automatic control.

9、自主知識產權MES軟件。
MES software with independent intellectual property right.

10、全面的防超溫、斷偶、撞舟等安全報警保護功能。
Alarm protection for over-heating, thermocouple -break and boat collision.

11、匹配S.C智能化生產管理系統。
Match S.C smart factory solution.

 

設備參數  Parameters

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